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产品介绍
产品介绍
VS-300T Astra-s 是一款紧凑量产型PEALD（等离子增强原子层沉积）设备，采用五边形平台，可搭载4个反应腔，具有优异坪效比及 CoO。产品可沉积高质量 SiO（氧化硅）、SiN（氮化硅）、TiO（氧化钛）等介质薄膜，在薄膜均匀性、保形性和颗粒控制能力方面达到国际先进水准，满足先进逻辑、存储等技术节点的量产需求。
- 优异的薄膜均匀性及颗粒控制能力
- 高深宽比（20:1）结构下台阶覆盖率95%以上
- 五边形紧凑平台，可搭载4个独立反应腔
- 通过 S2 安全认证和 F47 标准检验
