产品介绍
芯片对晶圆(DtW)键合技术代表了先进封装的最前沿,尤其适用于高性能高集成应用,与传统键合方式相比,该技术无需键合介质或粘合剂,可在室温下实现直接键合,并可选择已知良品芯片(KGD)参与键合,从而大幅提升良率。Pleione 300/Pleione 300 HS 是芯片对晶圆熔融键合设备系列,应用于化合物半导体晶圆重构领域。产品在实现高产能的同时,稳定保持微米级对位精度和高洁净度,为客户提供兼顾良率、产能与 CoO 的量产解决方案。