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产品介绍

        芯片对晶圆(DtW)键合技术代表了先进封装的最前沿,尤其适用于高性能高集成应用,与传统键合方式相比,该技术无需键合介质或粘合剂,可在室温下实现直接键合,并可选择已知良品芯片(KGD)参与键合,从而大幅提升良率。Pleione 300/Pleione 300 HS 是芯片对晶圆熔融键合设备系列,应用于化合物半导体晶圆重构领域。产品在实现高产能的同时,稳定保持微米级对位精度和高洁净度,为客户提供兼顾良率、产能与 CoO 的量产解决方案。


产品特点
        - 多种芯片尺寸和厚度兼容
        - 自动更换拾取与键合模组
        - 支持与预处理机型定制化联机
        - 支持在线键合空洞检测
        - 高产能与低 CoO


 
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