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产品介绍

        随着先进封装向高密度三维集成发展,键合界面对强度及完整性提出更高要求。Ascella 300 是一款键合强度检测设备,适配熔融键合、混合键合等先进键合工艺,应用于工艺验证阶段的晶圆键合强度与界面质量检测。
产品搭载高清红外成像系统,可对整片晶圆键合界面实时成像,捕捉并测算裂纹扩展长度,通过裂纹扩展法测量键合强度;结合红外光学探测,识别界面空洞,全面校验键合界面完整性,为先进封装提供可量化的键合强度判断依据。


产品特点
        - 裂纹扩展法精准测量晶圆键合强度
        - 整片晶圆高清红外实时成像
        - 单次高分辨率检测,提升检测效率
        - 兼容不同厚度刀片,适配多种检测需求
        - 红外空洞识别,强度与缺陷一体化检测


 
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