产品介绍
随着先进封装向高密度三维集成发展,键合界面对强度及完整性提出更高要求。Ascella 300 是一款键合强度检测设备,适配熔融键合、混合键合等先进键合工艺,应用于工艺验证阶段的晶圆键合强度与界面质量检测。 产品搭载高清红外成像系统,可对整片晶圆键合界面实时成像,捕捉并测算裂纹扩展长度,通过裂纹扩展法测量键合强度;结合红外光学探测,识别界面空洞,全面校验键合界面完整性,为先进封装提供可量化的键合强度判断依据。