产品介绍
PF-300T Altair 系列是我公司自主研发的热原子层沉积（Thermal Atomic Layer Deposition）设备，以高产能PEALD设备核心技术为基础，针对相应薄膜沉积的特殊性，对反应腔模块及关键部件优化设计，实现成本更低，纯度更高的薄膜的沉积。
