产品介绍
Dione 300/Dione 300 eX是拓荆科技自主研发的晶圆混合键合和熔融键合设备。应用于存储器、逻辑芯片、背照式图像传感器芯片、三维集成芯片、Micro LED的生产，该设备拥有等离子活化、清洗、键合和量测等单元，所有性能指标均已达到国际同类产品水平。
产品特点 - 12英寸/8英寸晶圆适配 - 室温等离子活化键合 - 超精密光学对准系统 - 可配置键合波自动控制系统 - 百纳米级键合后Overlay - 无键合气泡 - 高精度在线量测能力
