产品介绍
PF-300M为拓荆自主研发的串联高产能平台。PF-300M 系列产品可搭载 5 个反应腔，满足客户对不同工艺和膜厚的高效需求。该平台兼容PECVD高端产品pX、Supra-D，以及PEALD Astra反应腔。PF-300M Supra-D 系列产品是面向先进制程的新一代高端产品，采用全新的独立腔室设计，以优异的薄膜稳定性、均匀性、颗粒度表现实现更严格的工艺指标要求。
产品特点
- 串联的高产能平台
- 可搭配多个反应腔，实现产能的优化配置
- 颗粒度表现优异
- 通过S2安全认证和F47标准检验
